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搜狐网：自主研发的国产首台芯片检测设备在津西集团下线
来源：搜狐网 时间：2019-10-07 浏览量：2734

9月27日，津西集团下属东方晶源公司自主研发的国产首台电子束芯片检测设备下线投入使用。国内最大的集成电路制造企业——中芯国际接受该设备并进行应用验证。针对20纳米以下先进芯片制造过程进行在线缺陷检测、复检及缺陷自动分类是我国微电子领域的“卡脖子”技术，津西集团经过五年努力打破国外技术垄断，新投用的电子束芯片检测设备弥补了国产微电子领域的关键短板。作为从唐山成长起来的钢铁企业，近年来，津西集团坚持多元化战略，企业持续转型升级，高新技术领域不断取得新突破。


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